Ｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔ ｏｆ Ｄｉｒｅｃｔｉｏｎａｌ Ｆｌｏｗ Ｖａｃｕｕｍ Ｃａｌｉｂｒａｔｉｏｎ Ｖｉｒｔｕａｌ Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔ Based on LabVIEW

ＷＥＩ Ｗａｎ-ｙｉｎ，ＣＨＥＮＧ Ｙｏｎｇ-ｊｕｎ，ＦＥＮＧ Ｙａｎ，ＳＨＥＮＧ Ｘｕｅ-ｍｉｎ
（Ｌａｎｚｈｏｕ Ｉｎｓｔｉｔｕｔｅ ｏｆ Ｐｈｙｓｉｃｓ， Lａｎｚｈｏｕ ７３００００， Ｃｈｉｎａ）
Abstract：A ｖｉｒｔｕａｌ ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔ ｆｏｒ ｄｉｒｅｃｔｉｏｎａｌ ｍｏｌｅｃｕｌａｒ ｆｌｏｗ ｖａｃｕｕｍ ｃａｌｉｂｒａｔｉｏｎ ｉｓ ｄｅｖｅｌｏｐｅｄ ｂｙ ｔｈｅ ＬａｂＶＩＥＷ． Ｉｔ ｉｓ ｍａｄｅ up ｏｆ ｓｐｉｎｎｉｎｇ ｒｏｔｏｒ ｇａｕｇｅ． ｃａｐａｃｉｔａｎｃｅ ｄｉａｐｈｒａｇｍ ｇａｕｇｅ． ｃｏｌｄ ｃａｔｈｏｄｅ ｉｏｎｉｚａｔｉｏｎ ｇａｕｇｅ， ｄｉｒｅｃｔｉｏｎａｌ ｇａｕｇｅ ａｎｄ ｓｅｒｖｏｍｏｔｏｒｓ． Ｔｈｅ ｈａｒｄｗａｒｅ ｃｏｎｆｉｇｕｒａｔｉｏｎ ａｎｄ ｓｏｆｔｗａｒｅ ｄｅｓｉｇｎ ｍｅｔｈｏｄｓ ａｒｅ ｄｅｓｃｒｉｂｅｄ． Ｔｈｅ ｃａｌｉｂｒａｔｉｏｎ ｓｏｆｔｗａｒｅ ｉｓ ｄｅｖｅｌｏｐｅｄ ｂｙ ＬａｂＶＩＥＷ ７．１． Ｔｈｅ ｖｉｒｔｕａｌ ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔ ｓｙｓｔｅｍ ｐｏｓｓｅｓｓｅｓ ｆｒｉｅｎｄｌｙ ｉｎｔｅｒｆａｃｅ， ｈｉｇｈ ｒｅｌｉａｂｉｌｉｔｙ ａｎｄ ｓｔｒｏｎｇ ｅｘｐａｎｄａｂｉｌｉｔｙ．
Key words：fixing-ｄｉｒｅｃｔｉｏｎ ｍｏｌｅｃｕｌａｒ ｆｌｏｗ；ｖａｃｕｕｍ ｃａｌｉｂｒａｔｉｏｎ；ｖｉｒｔｕａｌ ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔ；ＬａｂＶＩＥＷ